磁悬浮输送线，电磁循环线
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平台型号 |
JRFDM-DLXY-400-400-100 |
JRFDM-DLXY-600-600-100 |
JRFDM-DLXY-800-800-100 |
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有效行程 |
400*400*100 |
600*600*100 |
800*800*100 |
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定位精度 |
±2um |
±2um |
±2 um |
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双向重复定位精度 |
±1um |
±1um |
±1um |
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俯仰 |
15 arc sec |
20 arc sec |
25 arc sec |
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偏摆 |
15 arc sec |
20 arc sec |
25 arc sec |
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横滚 |
15 arc sec |
20 arc sec |
25 arc sec |
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直线度 |
±3 um |
±5 um |
±8 um |
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分辨率 |
100 nm |
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最大加速度 |
1g |
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最大速度 |
1m/s |
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Y轴负载 |
60 KG |
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Z轴负载 |
12 KG |
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持续推力 |
X轴 |
221 N |
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Y轴 |
393 N |
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P峰值推力 |
X轴 |
1248 N |
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Y轴 |
2830 N |
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最小步进量 |
500 nm |
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平台质量 |
1400 kg |
1500 kg |
1700 kg |
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平台材质 |
大理石 |
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平均无故障时间 |
20000 Hours |
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