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XY轴气浮直线运动平台

【气浮平台的特点和优势】 气浮平台具有极高的精度和稳定性 气浮平台具有出色的承载能力和运动性能 气浮平台的维护成本低，因为其摩擦系数很小，不会产生磨损和磨损 高直线度和平面度 由于其产品特性，气浮平台对使用环境有一定要求，需在洁净室内使用 需要使用清洁、干燥的气源供气...

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产品简介 / PRODUCT INTRODUCTION

产品详情 / PRODUCT DETAILS

气浮平台及其原理

气浮平台是一种以气体为介质的悬浮系统，利用气体流动产生的气浮力来支撑和悬浮物体，实现无接触的悬浮效果。

其原理是在平面介面上注入压缩空气或氮气，通过气体流动和气泡形成产生气浮力支撑悬浮物体，形成一层气体悬浮层，实现物体的悬浮，从而达到高精度加工、光刻和检测等目的。

技术参数
轴系	X轴	Y轴
行程	900 mm	1350 mm
XX直线度	120 kg	≥ 55KG+Z 轴重量
YY直线度	0.1 um	0.1 um
定位精度	5 arc sec	5 arc sec
重复定位精度	10 arc sec	10 arc sec
yaw	±2.5 arc sec/50mm	/
pitch	±5 arc sec/50mm	/

产品特点 / Product FEATURES

气浮平台及其原理

气浮平台是一种以气体为介质的悬浮系统，利用气体流动产生的气浮力来支撑和悬浮物体，实现无接触的悬浮效果。

气浮平台的特点和优势

气浮平台具有极高的精度和稳定性

气浮平台具有出色的承载能力和运动性能

气浮平台的维护成本低，因为其摩擦系数很小，不会产生磨损和磨损

高直线度和平面度

由于其产品特性，气浮平台对使用环境有一定要求，需在洁净室内使用

需要使用清洁、干燥的气源供气

应用领域

双轴超精密气浮运动台，采用有限元分析优化的结构和气浮轴承补偿设计技术，提高精度的同时，也提供了最高动态性能。

广泛应用于半导体加工、检测，微纳加工、纳米级飞切抛光加工及高速扫描等行业。

产品特性：

•采用碳化硅陶瓷气浮导轨，超性能精度

•速度1m/s，加速度4g，快速的整定时间

•Y轴双驱双龙门结构，承载能力强

•可选光栅或激光干涉仪位置反馈

•可根据客户需求配置、行程、负载、特殊结构等进行评估定制

关于金瑞峰 / About Jinruifeng

客户案例 / Customer Case

我们具体能做什么 / WHAT CAN WE DO SPECIFICALLY

01 设计 Design

: 02 样品开发 Sample development

03 批量生产 mass production

: 04 成品组装 finished product assembly

工厂实力 / Factory strength

金瑞峰优势 / Advantages of Jinruifeng

: 实体工厂与规模

现代化生产基地工占地16000㎡，配备先进加工设备（200多台CNC数控机床、激光切割、数控冲床、精密设备等）经验丰富的工程师，确保从设计到生产的每个环节高效执行。

: 自主&研发

一站式解决客户全配套系统问题，从设计到交付再到日常生产，为您提供全方位支持。无论何时何地，您都能获得所需的帮助；服务众多上市公司以及国内知名企业。

: 严格质量控制

使用知名品牌之镭射仪器，检验定位精度与重复定位精度，在利用测试数据做几何精度补偿。正常检测的用:三坐标、激光干涉仪。质量追溯体系：每件产品附带唯一编号及检测报告，支持全生命周期质量追踪。

: 金牌服务&保障

服务与保障：24小时响应，2个工作日内上门服务，工厂配备多条生产线，可同时处理多个订单，缩短生产周期。高效物流：与专业物流公司合作。

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电磁循环线系列

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直线导轨

机加工钣金

丝杆模组

XY轴气浮直线运动平台

01 设计 Design

02 样品开发 Sample development

03 批量生产 mass production

04 成品组装 finished product assembly

实体工厂与规模

自主&研发

严格质量控制

金牌服务&保障

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