磁悬浮输送线,电磁循环线
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| 技术参数 | |||
| 轴向 | X轴 | Y轴(双电机) | R轴 |
| 持续推力 | 170N | 326.8 N | 5 N.m |
| 峰值推力 | 850N | 1649 N | 14 N.m |
| 持续电流 | 4.1 Arms | 4.0 Arms | 1.4 |
| 峰值电流 | 20.7 Arms | 20.0 Arms | Arms4.2 |
| 有效行程 | 160 | 160 | ±15° |
| 负载 | DD+5kg | X+DD+5kg | 5kg |
| 速度 | 1 m/s | 1 m/s | 120 rpm |
| 加速度 | 1G | 1G | - |
| 重复精度 | ±1 um | ±1 um | ±1.5 arc sec |
| 定位精度 | ±2 um | ±2 um | ±3 arc sec |
| 直线度 | ±2 um | ±2 um | - |
| 平面度 | ±2 um | ±2 um | - |
| 端面调动 | - | - | ±2 um |
| 整体平面跳动 | 10 um | ||
| 安装方式 | 水平 | ||






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