磁悬浮输送线，电磁循环线
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| 技术参数 | |||
| 有效行程 | 300mm*300mm | ||
| 定位精度 | ±0.3 μm | ||
| 双向重复定位精度 | ±0.2 μm | ||
| 俯仰 | ±3 arc sec | ||
| 偏摆 | ±3 arc sec | ||
| 横滚 | ±3 arc sec | ||
| 直线度 | ±1 μm | ||
| 平面度 | ±1 μm | ||
| 分辨率 | 1nm | ||
| 最大加速度 | 2 g | ||
| 最大速度 | 1000 mm/s | ||
| 最大水平负载 | 60 kg | ||
| 最大径向负载 | 30 kg | ||
| 持续推力 | 上轴 | 78 N | |
| 下轴 | 156 N | ||
| 峰值推力 | 上轴 | 432 N | |
| 下轴 | 864 N | ||
| 在位稳定性 | ±10 nm | ||
| 工作气压 | 5.5 bar（建议干燥空气，滤水滤油，粉尘过滤到 0.5μm以下） | ||
| 平台质量 | 75kg | ||
| 平台材质 | 铝 | ||
| 平均无故障时间 | 25000Hours | ||
| 注释：以上测试数据在实验室环境下，测试点位于中心点上方 25mm处，由线性放大器得出 | |||
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