磁悬浮输送线，电磁循环线
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| 技术参数 | |||||
| 轴向 | X0 轴 | Y0 轴 | Y1 轴 | Z0 轴 | Z1 轴 |
| 负载 | 30 kg | 12 Kg | 12 kg | 30 kg | 12 kg |
| 定位精度 | +/- (3+L/250) um | +/- 15 um | +/- 15 um | 12 mm | 12 mm |
| Minimum | Minimum | ||||
| 行程 | 2050mm | 1400mm | 1400mm | - | - |
| 直线轴长度 | 3140 mm | 2000mm | 2000mm | - | - |
| 滑台长度 | 890 mm | 230 mm | 230mm | - | - |
| 分辨率 | 5 nm or better | 0.1um or better | 0.1um or better | 0.2 um | 0.2 um |
| 加速度 | 0.5G (Average)@ 66.7% Jerk | 0.5G (Average)@ 66.7% Jerk | 0.25G (Average)@ 66.7% Jerk | 50 mm/sec^2 | 50 mm/sec^2 |
| 速度 | 1000 mm/s(Max) | 1000 mm/s (Max) | 1000mm/s (Max) | - | - |
| 速度波动 | 0.2% Max @Velocity = 400mm/s | - | - | - | - |
| 重复定位精度 | +/-1 um | +/-1 um | +/-1 um | +/- 1 um | +/- 0.1 um |
| 垂直直线度 | +/-15 um | +/-10 um | +/- 12 um over full range | - | - |
| 水平直线度 |
+/- 2 um over 200mm+/- 15 um over full range |
+/-10 um | +/- 10 um | - | - |
| 整定时间 | 200 msec @ 0.2um p-p | 200 msec @0.2um p-p | 200 msec @0.2um p-p | - | - |
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