磁悬浮输送线，电磁循环线
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| 技术参数 | ||||
| 轴系 | X轴 | Y1/Y2轴 | Z1/Z2轴 | K轴 |
| 行程 | 900 mm | 1350 mm | 20 mm | 1195 mm |
| 负载 | 120 kg | ≥ 55KG+Z 轴重量 | ≥ 55KG | 3（侧挂） |
| 编码器分辨率 | 0.1 um | 0.1 um | 20 um | 0.1 um |
| 最小步进 | 0.5 um | 0.5 um | / | 0.5 um |
| 线性定位精度 | ±2.5 um | ±2.5 um | ±15 um | ±2.5 um |
| 双向重复性 | ±1.5 um | ±1.5 um | ±8 um | ±1.5 um |
| 水平直线度 | ±8 um | ±5 um | ±5 um | ±10 um |
| 垂直直线度 | ±12 um | ±12 um | ±5 um | ±10 um |
| yaw | 5 arc sec | 5 arc sec | 20 arc sec | ±15 um |
| pitch | 10 arc sec | 10 arc sec |
X、 Y 方向上距离中心 300mm 的点，在 Z 轴 20 mm 运动过程中， Z方向最 大误差 ± 30um |
/ |
| roll | 10 arc sec | / | / | ±10 um |
| yaw | ±2.5 arc sec/50mm | / | / | / |
| Pitch | ±5 arc sec/50mm | / | / | / |
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