磁悬浮输送线,电磁循环线
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| 平台型号 | JRFDM-DJXY-500-500 | JRFDM-DJXY-800-800 | |
| 有效行程 | 500 mm*500 mm | 800 mm*800 mm | |
| 定位精度 | ±2 um | ±2 um | |
| 双向重复定位精度 | ±1um | ±1um | |
| 俯仰 | 15 arc sec | 20 arc sec | |
| 偏摆 | 15 arc sec | 20 arc sec | |
| 横滚 | 15 arc sec | 20 arc sec | |
| 直线度 | ±3um | ±5 um | |
| 分辨率 | 100 nm | ||
| 最大加速度 | 1.5 g | ||
| 最大速度 | 1.5 m/s | ||
| 产品负载 | 40 KG | ||
| 持续推力 | X轴 | 170 N | |
| Y轴 | 659 N | ||
| 峰值推力 | X轴 | 850 N | |
| Y轴 | 3298 N | ||
| 最小步进量 | 500 nm | ||
| 平台质量 | 450 KG | 720 KG | |
| 平台材质 | 大理石 | ||
| 平均无故障时间 | 20000 Hours | ||
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