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适用于光伏镀膜行业，产品特点 采用气浮导轨 超高直线度 速度波动高达0.1%@40mm/s 结构特点 双驱动布局可与双侧Z轴配合使用 紧凑型平台，驱动性能高 定制化 可根据客户需求配置、...
高动态性能XY轴采用全包裹式气浮导轨，稳定性好，高精度零膨胀光栅反馈，低膨胀系数，受温度漂移影响小；Z轴采用磁簧平衡负载，行程、尺寸和电缆可根据客户要求定制...
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