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X1/X2轴有效行程：1500mm Y1/Y2轴有效行程：2200mm X/Y轴最大移动速度：800mm/s 加速度：1.0G 重复定位精度：±1um 定位精度：±2um 直线度：±5um/m X/Y轴垂直度：10um 补偿后φ10mm插补圆的圆度为±0.01mm 200mm/s X轴负载：25KG Y轴负载：65KG...
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